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惊艳,新松公司自主研发的洁净机器人荣获沈阳市科技进步一等奖
2022-10-11 13:41

11月24日,沈阳市科技进步奖正式揭晓。宋公司自主研发的清洁机器人获沈阳市科技进步一等奖。沈阳市科学技术促进奖和沈阳市科学技术进步奖是沈阳市政府设立的两项最高科学技术奖。

大气机器人(也称清洁机器人,因为它用在超净室中)是一种用于超净室中的半导体加工工业的自动化设备,用于在大气环境中搬运不同制造室中的物料。具有运动速度快、定位(重复定位)精度高、结构紧凑、安全可靠、安装维护方便等特点。可广泛应用于雕刻机、离子注入机、PECVD等IC设备中硅片的传输,广泛应用于高精度、高可靠性的IC设备中。

为提高中国先进制造业的技术水平,宋新公司于2002年立项开发清洁机器人。通过工程技术人员几年的努力,攻克了高速、高精度、高可靠性的控制技术、洁净环境下运动部件的润滑技术、机器人对晶圆盒内晶圆状态的检测技术等多项技术难题。随着这些技术的积累,设计开发的清洁涂装机械手已应用于我国第一条激光打印机光敏感光鼓涂装生产线,取得了显著的经济效益和社会效益。

到目前为止,宋新公司为半导体工业开发的清洁机器人已经取得了突破性进展。随着市场的进一步推广,必将成为新的经济增长点,为中国半导体产业的发展奠定坚实的制造业基础,但不能为中国信息产业的发展提供可靠的技术支持。

(作者:元勋)

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